-135℃~+225℃,可以满足不同温度的需求，可非标定制； 可选配精确控温形式，控温精度最高可达±0.1℃; 采用高效换热器，降温速度快，常温至-80℃最快只需5分钟； 可选配冷量回收装置，提升能效，避免低温冷凝水。 可选配进气流量自动控制与检测

主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。 在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。

应用于元器件的特性分析、高低温温变测试、温度冲击测试、失效分析等可靠性试验，此类设备解决传统高低温箱无法满足的局部测试要求,设备移动方便、适合对众多元器件的某个单个元器件或具有平坦表面且结构扁平器件的高低温测试。

采用现有的热能(如蒸汽、冷却水及超低温液体等)集成到用来控制工艺设备温度的单流体系统或二级回路中，构成单热传导液体在反应容器夹套中的非接触式温度控制系统