通过机组自身的高效换热系统，将进入装置内的干燥气体(如氮气，氩气或空气)从环境温度冷却到低温恒温状态， 设备出来的气体即可达到目标低温温度。

依据不同工艺制程要求，控制设定温度、压力、扬程的循环液流经半导体工艺设备，如：chuck盘（晶圆卡盘）、载物台等，以实现半导体工艺制程的控温需求。

直冷制冷机是将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进入需控温的换热器或控制腔体元件内，从而使目标设备快速降温恒温

此类设备解决传统高低温箱无法满足的局部测试要求,方便移动、包含以下：

1、高低温冲击热流仪
2、接触式高低温冲击机
3、热控卡盘、平板

此设备采用半导体制冷片(TEC)实现加热制冷功能，优点：体积小、噪音低、热效率高，适合高精度测试仪器、医美设备等高精度控温需求。

液晶面板测试设备又名：LCD液晶恒温测试机、平板显示精密恒温机、液晶平板恒温机。主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂精密温湿度控制