DLS系列低温冷水机主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷，压缩机及主要制冷部件均采用国际知名品牌，性能稳定优异出水温度，控温精度可达±0.1℃，可选配组件实现多路输出、多路负载，节能环保，操作简单。 且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能，远程控制方便，可实现I/O、RS232、RS485等多种不同通讯方式控制

-135℃~+225℃,可以满足不同温度的需求，可非标定制； 可选配精确控温形式，控温精度最高可达±0.1℃; 采用高效换热器，降温速度快，常温至-80℃最快只需5分钟； 可选配冷量回收装置，提升能效，避免低温冷凝水。 可选配进气流量自动控制与检测

主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。 在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。

又叫做：接触式高低温设备、接触式局部快速温变仪、接触式芯片高低温测试设备，通过测试头与待测器件直接贴合的方式实现能量传递，与传统气流式高低温设备（热流仪、温箱等）相比具有升降温效率高，操作简单方便，体积小巧，噪音低等特点。