热控卡盘、平板

热控卡盘平板又叫控温卡盘、控温平板、快速温变卡盘、高低温控温卡盘,该设备系统自身带制冷系统,避免了液氮、二氧化碳的消耗,提供了一个精确可控的温度平台,可以快速加热、冷却或保持温度,

热控卡盘的加热时间和热均衡时间比任何基于水或空气的系统都要快得多,是测试具有平坦表面并且结构扁平器件的理想方式,比如射频组件和高功率密度器件 (IGBT或MOSFET等)
采用制冷剂直接蒸发的制冷方式,大幅提升了换热效率。

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名称

  • 设备名称
  • 有效温度范围
  • 控温精度
  • 卡盘尺寸
  • 表面平整度
  • 降温速率

参数

  • 热控卡盘、平板
  • -75℃~225℃
  • ±0.1℃
  • 直径:100mm、150mm、200mm、300mm
  • ±50um
  • +220°C to +25°C: 2 min;+25°C to -60°C: 6 min

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