在温度控制方面，其精度可达 ±0.1℃。无论是高温环境下的稳定维持，还是低温状态的精准把控，都能轻松应对。

恒温恒湿机在基板曝光前，能有效维持其表面温度的均一性。经过此设备处理后的空气，温度控制精度可达目标值士0.01°℃，充分满足制程环境对温控的极致要求。该设备的应用，不仅确保了产线环境的稳定，更为产品的高良率提供了坚实保障。在精密制造领域，恒温恒湿机的这一卓越性能，无疑为生产流程的顺畅与品质的提升贡献了不可或缺的力量。

主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。 在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。

热控卡盘平板又叫控温卡盘、控温平板、快速温变卡盘、高低温控温卡盘，该设备系统自身带制冷系统，避免了液氮、二氧化碳的消耗，提供了一个精确可控的温度平台，可以快速加热、冷却或保持温度，