温湿度控制系统
对应用于半导体生产等的曝光设备、涂布/显影设备中,制程腔体内的环境空气温湿度进行精密控制,以保证制品良率。
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ADVANTAGE
直冷型制冷机采用制冷剂直接蒸发,降温方式为相变制冷,与液冷的温差降温相比,降温速度快,能效高,设备无循环系统,外形尺寸更紧凑!
直冷型制冷机应用于元器件的特性分析、高低温温变测试、温度冲击测试、失效分析等可靠性试验,此类设备解决传统高低温箱无法满足的局部测试要求,设备移动方便、适合对众多元器件的某个单个元器件或具有平坦表面且结构扁平器件的高低温测试。
半导体器件测试采用现有的热能(如蒸汽、冷却水及超低温液体等)集成到用来控制工艺设备温度的单流体系统或二级回路中,构成单热传导液体在反应容器夹套中的非接触式温度控制系统
直通式TCU解决方案随着半导体元器件行业的发展,各种电子元器件在各种复杂环境下的性能测试显得突出,高低温测试机作为一种专门用于模拟和测试电子元器件在各种环境下的性能的设备。
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