主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。 在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。

热控卡盘平板又叫控温卡盘、控温平板、快速温变卡盘、高低温控温卡盘，该设备系统自身带制冷系统，避免了液氮、二氧化碳的消耗，提供了一个精确可控的温度平台，可以快速加热、冷却或保持温度，

又叫做：接触式高低温设备、接触式局部快速温变仪、接触式芯片高低温测试设备，通过测试头与待测器件直接贴合的方式实现能量传递，与传统气流式高低温设备（热流仪、温箱等）相比具有升降温效率高，操作简单方便，体积小巧，噪音低等特点。

采用一组冷却换热器，一组加热换热器，通过比例调节阀控制冷热量进入到换热器，再通过统一介质输入到反应釜夹套进行换热控温，系统内置有膨胀罐。