液体冷却器
PTLQ系列气体制冷机主要由制冷系统、换热系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷
PTLQ系列气体制冷机主要由制冷系统、换热系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷
应用于晶圆测试载物台、chuck的加热及制冷,采用硅油或氟化液循环精准控温±0.1℃,液冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。通过机组自身的加热与冷却,向外界输送载热流体,满足工艺条件。
液冷制冷机PTLD系列低温冷冻机主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷,压缩机及主要制冷部件均采用国际知名品牌。
超低温冷冻机半导体热电制冷器又叫做:半导体式冷水机、半导体温控台、精密半导体冷却器,该系统由半导体制冷系统、循环水冷系统、温度控制系统及测量治具载台等装置组成。广泛应用于半导体行业蚀刻装置,CMP实验室精密装置、高精度测试仪器等等
半导体热电制冷器普泰克TCU温控单元PTCU系列探索和利用现有的各种主要能源,如:如热油,蒸汽,冷冻盐水和冷油等,应用于搅拌罐、化学、制药、生物反应器、材料测试研究、生产的温度控制,一台TCU温控单元系统,可实现多台反应釜不同工艺的控温需求。目的在于集成已有的系统,并充分利用已有的初级能源。
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