气体制冷晶圆测试

主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷，压缩机及主要制冷部件均采用国际知名品牌。循环系统包括循环泵、蓄冷容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。

全密闭系统：采用全密闭式系统设计，整个循环管路只有加液盖上留出的呼吸孔，载冷介质不会直接与空气接触，延长了介质使用寿命同时确保系统运行的稳定性。
高效换热系统：制冷采用板式换热器，换热效率高、结构紧凑。
控制结果重复性：基于高级动态控制系统，每次都能实现一致的控制结果，大大提升产品生产的稳定性。
产品外观：外观设计吸取国外进口产品的设计理念，采用大口径石英玻璃液位计，液位计与操作屏放在同一侧，观察方便，风格简约时尚，比列协调，专有的色彩搭配。

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制冷加热的设备也就是化工行业常说的TCU系统。这个主要是采用了现有的能源（蒸汽、循坏水、冷冻水），把初级能源整合运用到一起进行对工艺设备的准确控温的单流系统或者二级回路上去。冷热一体控温机介质一直导热介质流到反应釜夹套去，而不是通过蒸汽、冷却水、超低温介质直接对反应釜进行温度控制，制冷加热的设备是通过大数据运算整体反应所需要的温度的过程来自动调节。