半导体晶圆温度控制

全密闭式系统设计 自主开发温度控制模块 高效换热系统 控制重复性 超高温降温技术

PTHC系列高低温动态控温系统主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷,压缩机及主要制冷部件均采用国际知名品牌。循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。控制系统采用PID控制技术,高清触摸屏显示,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。

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型号

  • 制冷加热方式
  • 温度范围
  • 流量控制范围
  • 压力控制范围
  • 主要应用
  • 主要功能
  • 控温模式
  • 控制系统
  • 压缩机
  • 膨胀阀
  • 电磁阀
  • 蒸发器
  • 通信协议
  • 外部输入
  • 配电功率
  • 冷却形式
  • 外壳材质
  • 选配连接管路

气体冷却机

  • 制冷:蒸汽压缩式制冷,加热:电加热
  • -40°C~ 100℃(可按照要求定制)(空载)
  • 2L/min~150L/min
  • 0~6bar
  • 适用于新能源汽车动力电池充放电测试、热学性能测试、驱动电机热学性能测试、可靠性测试等
  • 配有压力、温度、流量传感器,可实现控温、控压、控流量等功能。
  • 控制设备出口温度
  • 7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示、记录
  • 泰康全封闭活塞压缩机,美国艾默生谷轮涡旋压缩机
  • 丹佛斯/艾默生热力膨胀阀
  • 卡士妥/艾默生/丹佛斯电磁阀
  • 丹佛斯/高力/宝得板式换热器
  • CAN通信总线
  • 外置温度传感器端口、USB数据接口
  • 4.5kW ~80kW
  • 风冷型or水冷型(水冷型型号后缀“W”)
  • 静电喷涂镀锌板/不锈钢304
  • 金属保温管or氟胶管or硅胶管

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制冷加热的设备也就是化工行业常说的TCU系统。这个主要是采用了现有的能源(蒸汽、循坏水、冷冻水),把初级能源整合运用到一起进行对工艺设备的准确控温的单流系统或者二级回路上去。冷热一体控温机介质一直导热介质流到反应釜夹套去,而不是通过蒸汽、冷却水、超低温介质直接对反应釜进行温度控制,制冷加热的设备是通过大数据运算整体反应所需要的温度的过程来自动调节。

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