-135℃~+225℃,可以满足不同温度的需求，可非标定制； 可选配精确控温形式，控温精度最高可达±0.1℃; 采用高效换热器，降温速度快，常温至-80℃最快只需5分钟； 可选配冷量回收装置，提升能效，避免低温冷凝水。 可选配进气流量自动控制与检测

直冷型制冷机采用制冷剂直接蒸发，降温方式为相变制冷，与液冷的温差降温相比，降温速度快，能效高，设备无循环系统，外形尺寸更紧凑！

液晶面板测试温控设备又叫：LCD液晶恒温测试机、平板显示精密恒温机、液晶面板精密恒温机、液晶平板恒温机 主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂精密温湿度控制

主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。 在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。