半导体专用多通道温控设备
主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温,装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成,采用先进的控制算法,提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。 在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃,可在-20℃~85℃之间任意控温,有良好的温度稳定性。
主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温,装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成,采用先进的控制算法,提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。 在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃,可在-20℃~85℃之间任意控温,有良好的温度稳定性。
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采用一组冷却换热器,一组加热换热器,通过比例调节阀控制冷热量进入到换热器,再通过统一介质输入到反应釜夹套进行换热控温,系统内置有膨胀罐。
二次换热式TCU解决方案采用现有的热能(如蒸汽、冷却水及超低温液体等)集成到用来控制工艺设备温度的单流体系统或二级回路中,构成单热传导液体在反应容器夹套中的非接触式温度控制系统
直通式TCU解决方案在化学工业和制药工业的产品开发和生产过程中,温度控制对于安全和高质量的反应产品都是至关重要的,普泰克的PTHC系列适用于过程工业 & 工艺过程工程,应用于:夹套反应釜、微通道反应器、反应装置、组合化学等冷热源动态恒温控制以及制药行业中的低温蒸馏、精馏、萃取等设备中。
高精度高低温一体机应用于元器件的特性分析、高低温温变测试、温度冲击测试、失效分析等可靠性试验
半导体器件高低温测试设备OUR
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