液冷制冷机
应用于晶圆测试载物台、chuck的加热及制冷,采用硅油或氟化液循环精准控温±0.1℃,液冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。通过机组自身的加热与冷却,向外界输送载热流体,满足工艺条件。
应用于晶圆测试载物台、chuck的加热及制冷,采用硅油或氟化液循环精准控温±0.1℃,液冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。通过机组自身的加热与冷却,向外界输送载热流体,满足工艺条件。
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制冷加热的设备也就是化工行业常说的TCU系统。这个主要是采用了现有的能源(蒸汽、循坏水、冷冻水),把初级能源整合运用到一起进行对工艺设备的准确控温的单流系统或者二级回路上去。冷热一体控温机介质一直导热介质流到反应釜夹套去,而不是通过蒸汽、冷却水、超低温介质直接对反应釜进行温度控制,制冷加热的设备是通过大数据运算整体反应所需要的温度的过程来自动调节。
采用现有的热能(如蒸汽、冷却水及超低温液体等)集成到用来控制工艺设备温度的单流体系统或二级回路中,构成单热传导液体在反应容器夹套中的非接触式温度控制系统
TCU机组是一种专门设计用于实现精准温度控制的设备。它在许多工业领域中被广泛应用,包括化学制药、食品加工、塑料注塑和实验室等。
随着半导体元器件行业的发展,各种电子元器件在各种复杂环境下的性能测试显得突出,高低温测试机作为一种专门用于模拟和测试电子元器件在各种环境下的性能的设备。
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